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1、C自来水进水P取样保安过滤器PPcF不合格排放P原水箱R紫外线杀菌灯原水泵机械过滤器FP活性炭过滤器紫外线杀菌灯软水器盐箱RF高压泵反渗透装置化学计量泵用水点纯水出口调压阀FF风机PPP过滤器um过滤器氮气瓶不合格排放PFk浓水回流Fk或排放极水 浓水FI循环泵C纯水抛光混床超纯水泵氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆um过滤器纯水泵脱气水箱符号说明:不合格排放PPcFRCFK电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表图 3常用的一级RO+二级 EDI+MB 电子 I 级超纯水设备系统工艺配置图流变控制开关适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高（小于1000 s/cm ），要求产水电阻
2、率18 18.2M cm的超纯水设备系统C自来水进水P取样保安过滤器PPcF不合格排放P原水箱R紫外线杀菌灯原水泵机械过滤器FP活性炭过滤器紫外线杀菌灯软水器盐箱RF高压泵反渗透装置化学计量泵用水点纯水出口调压阀FFPPP风机过滤器um过滤器氮气瓶不合格排放PFk浓水回流Fk或排放极水 浓水纯水FI循环泵C超纯水泵氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆um过滤器纯水泵脱气水箱符号说明:不合格排放PPcFRCFK电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表图 4 常用的一级RO+二级 EDI 电子级超纯水设备系统工艺配置图流变控制开关适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率（小于1000 s/cm
3、），要求产水电阻率15 18M cm的超纯水设备系统自来水进水CFCPPFF排放快速过滤器PPPcP不合格排放原水箱原水泵FP超滤装置反洗排放水高压泵反渗透装置R用水点um过滤器紫外线杀菌灯氮气瓶紫外线杀菌灯R不合格排放FkF纯水出口调压阀P化学计量泵风机PFF过滤器PP循环泵C浓水回流Fk或排放极水 浓水纯水抛光混床超纯水泵符号说明:氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆um过滤器不合格排放纯水泵纯水箱PPcFRC电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表图 5常用的一级RO+二级 EDI 电子+MB 电子 I 级超纯水设备系统工艺配置图FK流变控制开关适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率
4、高（小于1000 s/cm ），要求产水电阻率18 18.2M cm的超纯水设备系统自来水进水CFCPPFF排放快速过滤器PPPcP不合格排放原水箱紫外线R杀菌灯原水泵FP紫外线杀菌灯超滤装置RF反洗排放水高压泵化学计量泵反渗透装置风机用水点um过滤器氮气瓶不合格排放Fk纯水出口调压阀PFFPPP循环泵过滤器C浓水回流Fk或排放极水 浓水纯水超纯水泵氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆um过滤器纯水泵纯水箱符号说明:不合格排放PPcFRCFK电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表图 6常用的一级RO+二级 EDI 电子级超纯水设备系统工艺配置图流变控制开关适合于源水硬度低，有机物含量低，
5、电导率高（小于1000 s/cm ），要求产水电阻率15 18M cm的超纯水设备系统图 7 是常用的一级EDI 全系统组成图。C自来水进水P风机取样F保安过滤器PcPP不合格排放PcPH调节PP原水箱原水泵机械过滤器活性炭过滤器阻垢剂加药一级高压泵一级反渗透装置脱气水箱纯水泵二级高压泵R用水点P紫外线杀菌灯RFFC化学计量泵过滤器b风机um过滤器氮气瓶不合格排放FFIPPP极水Pc浓水C纯水PP循环泵CF不合格排放抛光混床符号说明:TOC分解器超纯水泵氮封超纯水箱一级EDI膜堆um过滤器不合格排放纯水泵脱气水箱二级反渗透装置PPcFRC电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表图 7
6、常用的产水水质稳定的二级RO+一级 EDI+MB电子级超纯水设备系统组成图适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率1000 s/cm, 即 TDS 500ppm 时，要求产水电阻率18 18.2M cm的纯水设备系统C自来水进水P取样F保安过滤器PcPP风机不合格排放PcPP二级高压泵PH调节原水箱原水泵机械过滤器活性炭过滤器阻垢剂加药一级高压泵一级反渗透装置脱气水箱纯水泵R用水点um过滤器P氮气瓶紫外线杀菌灯不合格排放RFFFPPP极水Pc浓水C纯水化学计量泵过滤器FI循环泵CCb风机F不合格排放TOC分解器超纯水泵氮封超纯水箱PP一级EDI膜堆um过滤器纯水泵脱气水箱二级反渗透装置符号说明:PPcFRC不合格排放电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表图 8常用的产水水质稳定的二级RO+一级 EDI 电子级超纯水系统组成图适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率1000 s/cm,即 TDS 500ppm 时，要求产水电阻率1518.0M cm 的的纯水系统
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