超纯水是一种将水中的导电介质简直彻底去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的高纯度水，一般电阻率大于18MΩ*cm，或挨近18.3MΩ*cm极限值(25℃)的咱们才称之为超纯水。关于半导体职业而言，超纯水是确保其高效出产的柱石之一，所以咱们才说半导体出产离不开超纯水设备。
在半导体出产环节中，清洗进程占有了整个出产总进程的三分之一,可以说整个清洗进程离不开超纯水设备。使用专业的超纯水设备即可产出高品质的超纯水，现在半导体职业常用的超纯水设备中心工艺为反渗透工艺、EDI体系、混床工艺，这样出产出的超纯水电阻率可达18 MΩ*cm(25℃)，具有环保、经济、开展的潜在才能大等许多优势。
半导体职业使用的超纯水设备中心选用的是Ryperm曲线微导力体系，使用膜法技能，在抛光段选用进口抛光树脂以及自主研制的除硼专用树脂，在确保体系高回收率的一起，有用进步体系的产水水质。设备中使用的EDI体系是一种将离子交换膜技能和离子电搬迁技能相结合的纯水制作技能，无需酸碱再生，是一种新式的脱盐方法，该体系的使用协助超纯水设备降低了运转本钱。该设备可接连稳定地制备超纯水，不会由于树脂再生而中止运转，设备结构设计比较紧密，所以其占地面积十分小，可认为企业节约很多空间，归于实用型超纯水设备。
综上所述，半导体职业的开展离不开超纯水设备的使用，该设备深受半导体职业的喜爱，在电子芯片、集成电路及封装、晶圆、航空航天等领域中使用良多。